Herz主動式減震系統平臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供的主動隔振性能(從0.5Hz開始)。UT-1000A平臺通過消除，干擾測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。

    UT-1000A平臺為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供的主動隔振性能(從0.5Hz開始)。UT-1000A平臺通過消除，干擾測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡中獲得更多信息。UT-1000A平臺采用了模塊化設計，簡化了安裝過程，從而在安裝時不需要為大多數儀器安裝專用的起重設備。

壓電傳感器與驅動器

Herz主動式減震系統功能：

• 主動減震范圍 1 to 200 Hz (搭配LFS 系統由0.5Hz開始)

• 被動減震模式 ≥200 Hz
  

• 隔離來自六個自由度的振動
  

• 無低頻共振
  

• 壓電傳感器和驅動器
  

• 內部反饋回路阻尼諧振

Herz主動式減震系統設計及維護：

• 緊湊，模塊化的設計

• 安裝方便，無需持久維護 安裝后基本不改變顯微鏡的整體輪廓 為每臺電鏡做單一的定制

熱門應用

Herz-UT-1000A平臺廣泛的應用于高負載顯微鏡和其他對低頻振動噪聲敏感的精密型研究儀器。Herz-UT-1000A平臺常見的應用是電子顯微鏡，它支持掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。Herz-UT-1000A平臺的扁平化模塊設計是有利的，因為它簡化了安裝過程，消除了持續維護的必要。

• Herz-UT-1000A 平臺廣泛應用于SEMs & TEMs

• 真空掃描探針顯微鏡 (UHV-SPM)

• 光刻設備 高精度計量設備 光譜測量設備 And More!

UT-1000A Supporting A FEI Titan TEM

      由于UT-1000A平臺的模塊化設計，重3500公斤的Titan可以由四個減震 模塊來支持。這幅圖像描繪了一個由UT-1000A平臺支持的FEI Titan TEM，它以前受到低頻振動噪聲的干擾。

UT-1000A Supporting A FEI QEMSCAN 650 SEM

UT-1000A平臺通常對與掃描電子顯微鏡搭配，掃描電子顯微鏡有多種尺寸和形狀。UT-1000A平臺的優點是，它們不需要專業的吊裝設備或索具系統進行安裝，只需要SEMs內部調平腳升高到足夠高(5英寸)就可以將防振模塊放置在下面。由上幅圖像可以看到，一 臺FEI QEMSCAN 650 SEM，被安裝在支撐SEM框架的UT-1000A平臺上。安裝后，SEM很快開始從測量中獲得比之前更好的成像質量。

UT-1000A Supporting A Carl Zeiss SIGMA VP SEM

Carl Zeiss scanning electron microscopes 常用的減震方案是搭配UT-1000A. 由于其設計一，內部框架易于使用，UT-1000A平臺可以在一小時內安裝，不需要吊裝設備。上圖顯示的是Carl Zeiss SIGMA VP 在與UT-1000A 平臺的搭配.